资产编号 20113328

仪器名称
扫描电子显微镜(SEM)  状态【完好
英文名称 FEI QuantaTM 250
规格/型号 */Quanta 250 
生产厂商 FEI
国别 美国(USA)
所属学院 现代分析与计算中心 放置地点 [表面分析一室 ]
使用日期 2011-6-1 电子邮箱 15082111@qq.com
性能指标 高真空模式分辨率:≤3.0nm @30kV(SE) ≤4.0nm@30kV(BSE) ≤8nm@3kV(SE) 低真空模式分辨率:≤3.0nm @30kV(SE) ≤4.0nm@30kV(BSE) ≤10.0nm@3kV(SE) 环境真空模式分辨率:≤3.5nm @30kV(SE) 放大倍数:6倍~100万倍 加速电压: 0.2kV-30KV
主要应用 探测芯片有效探测面积:10mm2 能量分辨率:MnKa分辨率优于129eV (测试条件1000 ~ 100,000 cps) 最大输入计数:1000,000cps,最大输出计数:400,000cps 窗口类型:超薄轻元素探测窗口 元素探测范围:Be(4) – Am(95) 可支持4096 x 3072 象素分辨率的Mapping 系统稳定性:1000,000cps以内输入计数谱峰偏移不超过1eV
样品要求 1. 测试项目选择:请根据样品性质选择“测试项目”中的选项,如样品不导电且需要做能谱分析,请选择:高真空模式图像采集(非导电样品)+能谱分析(点or线or面分析模式);如果该样品不想做喷金处理,可选择:低真空模式图像采集+能谱分析(点or线or面分析模式)。 2. 预约时间选择:样品数目<3个样品请选择0.5小时;3≤样品数目<5个样品请选择1小时;5≤样品数目<10请选择2小时;10<样品数目<12请选择2.5小时;样品数目超过12个请多次预约时间段。注意:如对样品观察较为仔细,请增加时间,另外以上时间设置均针对拍照,如需能谱分析,请将测试时间翻倍; 3. 如果样品为含水样品,想使用环境扫描模式,请提前与测试老师联系。 4.SEM测试需要预约人在其预约时间来A104观察实际测试情况,请各位预约人严格遵守时间。 5. 无论进行任何项目的SEM以及EDS测试,单个样品的测试按半小时计时收费。
仪器说明

扫描电子显微镜是科学研究和工业生产中探索微观世界、进行表面结构和成分表征的不可缺少的工具。环境扫描电镜为FEI公司(原飞利浦电镜)首创,样品室及镜筒压差控制系统和探测器设计保证了环扫系统可以在高真空/低真空/超低真空环境下对导体/半导体/绝缘体进行无喷涂导电层直接分析表征,更可在数千帕条件下进行含水、有气样品的原始形貌观测表征、气体和样品之间相互作用的原位观测研究;我中心购置的QuantaTM 250环境扫描电子显微镜系列是该公司在20097月后推出的的最新系列产品,具有良好的超低真空/低真空工作稳定性及样品信号收集效果。目前环扫系统已广泛应用于无机材料、石油地质、生物样品等不导电样品的形貌表征以及原位过程分析。该仪器的配备对进一步提升我校采矿、安全、地质资源与地质工程、矿物加工、矿产普查与勘探、岩土、土木、化工、材料、环境科学与工程等多学科的研究水平有十分积极的作用。

一、主要技术指标

高真空模式分辨率:≤3.0nm @30kV(SE)

4.0nm@30kV(BSE)

8nm@3kV(SE)

低真空模式分辨率:≤3.0nm @30kV(SE)

4.0nm@30kV(BSE)

10.0nm@3kV(SE)

环境真空模式分辨率:≤3.5nm @30kV(SE)

放大倍数:6倍~100万倍

加速电压: 0.2kV30KV

二、主要附件配置

能量色散谱仪:元素探测范围 Be(4) – Am(95)

   电制冷冷台系统:-20℃--60℃                                             

热台系统:最高温度1500 ℃   

                分析-未处理的石英在低真空模式下的成份面分布